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1nm级计量工具,今年大规模供应_蜘蛛资讯网

来源: 新华社
04:30:25

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并降低生产成本。与AUROS Technology现有的套刻测量工具相比,该厚度测量系统具有更广泛的适用性。套刻测量用于检测晶圆上上下电路图案的对准情况,通常在光刻工艺前后进行。AUROS 估计,厚度计量领域的潜在市场规模高达 3 万亿韩元,约为套刻市场规模的两倍。随着半导体工艺的不断进步和多层结构的应用,对精确薄膜测量的需求日益增长。薄膜前端计量市场历来由KLA公司和应用材料公司等全球设备制造商

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发布时间:05:32:57


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